もう、UV硬化の過程を推測する必要はありません。ガリウムヨウ化物ランプをより効果的に使う方法があります。
もしPCB加工業を営んでいるなら、ガリウムヨウ化物（GaI）ランプが深紫外線硬化において最適な光源であることはご存知でしょう。高解像度のフォトレジストを使用する際には、このランプが最適です。なぜなら、高解像度のフォトレジストが機能するためには、正確な波長帯の光が必要だからです。
しかし、問題点もあります。従来のランプは「ブラックボックス」のようなもので、電圧を設定すればランプが発光しますが、十分なエネルギーが出ているかどうかはわかりません。実際、これらのランプは徐々に性能が低下していきます。通常、ランプが完全に壊れる前に、UV出力が大幅に低下してしまいます。長年、この問題を解決する唯一の方法は、タイマーに頼ってランプを交換するしかありませんでした。
もう、推測する必要はありません。
私たちは、リモートでエネルギーを監視する機能を追加しました。IoTセンサーを使って、実時間で電力や波長の変化を把握できるので、照射強度が基準値を下回った瞬間を正確に把握できます。そうすれば、硬化処理が失敗する恐れがある瞬間を、遅れることなく把握できます。
次に、ハードウェアについてです。これらの装置は非常に熱くなります。HDI基板に必要な強度を得るためには、多くのワット数をクォーツ製のケース内に送り込む必要があります。お客様の作業を楽にするために、新しい世代の装置は既存の装置と同じサイズに設計されています。つまり、古いGaIランプをそのまま交換すればよく、全体の装置を再構築する必要はありません。また、電源をオン/オフする際に電極が剥がれないように、電極も強化されています。
一点注意が必要です。監視用センサーはランプの近くにあるため、少しスペースを取ります。冷却ファンがセンサーからの余分な熱に対応できるかを必ず確認してください。そうしないと、温度の影響で測定値が不正確になってしまいます。
工場では、この機能が大いに役立ちます。硬化処理が不安定になると、フォトレジストが剥がれたり、露光量が不均一になったりして、廃棄物が増えてしまいます。しかし、リモート監視機能を使えば、ランプの出力をコンベヤーの速度と同期させることができます。例えば、センサーが10％のエネルギー低下を検知すると、システムが自動的にコンベヤーの速度を落とし、基板が必要な量の光を受けられるようにします。もう、毎シフトで手動でウェハーをチェックする必要はありません。代わりに、通過する各基板のデータが正確に記録されます。
これにより、作業がよりスムーズに進みます。