フォトレジスト用ガリウムヨウ化ランプ

なぜフォトレジスト用にガリウムヨウ化物ランプを使い続けるのか 実はこうです。フォトレジストライン用のUVランプを選定するときは、いつもガリウムヨウ化物を選びます。なぜなら、365 nmの波長帯を安定かつ高強度でしっかりと出力できるからです。これはi線レジストにとって理想的な波長帯であり、基板を傷め...