http://uv-curing-area.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on UV Curing Area Hugo ja Wed, 27 May 2026 01:50:20 +0800 http://uv-curing-area.com/ja/posts/gallium-iodide-lamp-for-photoresist/ Wed, 27 May 2026 01:50:20 +0800 http://uv-curing-area.com/ja/posts/gallium-iodide-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://uv-curing-area.com/images/b717d9f0742111373c1b4fa943a6ce46.png" alt="フォトレジスト用ガリウムヨウ化ランプ"></p> <h2 id="なぜフォトレジスト用にガリウムヨウ化物ランプを使い続けるのか">なぜフォトレジスト用にガリウムヨウ化物ランプを使い続けるのか</h2> <p>実はこうです。フォトレジストライン用のUVランプを<a href="https://henruite.com">選定</a>するときは、いつもガリウムヨウ化物を選びます。なぜなら、365 nmの波長帯を安定かつ高強度でしっかりと出力できるからです。これはi線レジストにとって理想的な波長帯であり、基板を傷めることなく繰り返し精密な寸法制御が<a href="https://o-yate.com">可能</a>です。<br> しかもそれは単なるバルブの話ではありません。チューブ、充填化学物質、アークの形状、バラストインターフェースなど、すべてが連携して動くシステムなのです。その結果、ウェハ面でのエネルギー<a href="https://o-yate.net">密度</a>が日々安定して維持されます。</p>